EP2878699

TANTALUM SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR PRODUCING SAME

  • :
    EP einkaleyfi: Þýðing ekki lögð inn
  • :
    6.12.2013
  • :
    15.7.2020
  • :
    13866236.6
  • :
    5.12.2033
  • :
    TANTALUM SPUTTERING TARGET AND METHOD FOR PRODUCING SAME

6.12.2013
15.7.2020
  • :
    JX Nippon Mining & Metals Corp.
  • :
    6-3, Otemachi 2-chome, Chiyoda-ku Tokyo 100-8164, JP
  • :
    SENDA, Shinichiro
  • :
    Kitaibaraki-shi Ibaraki 319-1535, JP
  • :
    NAGATSU, Kotaro
  • :
    Kitaibaraki-shi Ibaraki 319-1535, JP
  • :
    2012276883
  • :
    19.12.2012
  • :
    JP
  • :
    JP2013082764
  • :
    6.12.2013
  • :
    C23C 14/34, C23C 14/14, H01L 21/285, B21B 1/22