EP3033440

SPUTTERING TARGET WITH BACKSIDE COOLING GROOVES

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    EP einkaleyfi: Þýðing ekki lögð inn
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    14.8.2014
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    21.4.2021
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    14835827.8
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    13.8.2034
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    SPUTTERING TARGET WITH BACKSIDE COOLING GROOVES

14.8.2014
21.4.2021
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    Applied Materials, Inc.
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    3050 Bowers Avenue, Santa Clara, California 95054, US
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    WEST, Brian T.
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    San Jose, California 95130, US
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    COX, Michael S.
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    Gilroy, California 95020, US
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    OH, Jeonghoon
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    Saratoga, California 95070, US
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    201361866006 P
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    14.8.2013
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    US
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    US2014050539
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    14.8.2014
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    C23C 14/34, H01J 37/34