EP3055076

IMPROVED WAYS TO GENERATE PLASMA IN CONTINUOUS POWER MODE FOR LOW PRESSURE PLASMA PROCESSES

  • :
    EP einkaleyfi: Þýðing ekki lögð inn
  • :
    7.10.2014
  • :
    7.6.2023
  • :
    14781871.0
  • :
    6.10.2034
  • :
    IMPROVED WAYS TO GENERATE PLASMA IN CONTINUOUS POWER MODE FOR LOW PRESSURE PLASMA PROCESSES

7.10.2014
7.6.2023
  • :
    Europlasma nv
  • :
    Industriepark De Bruwaan 5D, 9700 Oudenaarde, BE
  • :
    LEGEIN, Filip
  • :
    B-9700 Oudenaarde, BE
  • :
    ROGGE, Eva
  • :
    B-9700 Oudenaarde, BE
  • :
    SERCU, Marc
  • :
    B-9700 Oudenaarde, BE
  • :
    13187623
  • :
    7.10.2013
  • :
    EP
  • :
    EP2014071466
  • :
    7.10.2014
  • :
    H01J 37/32, C23C 16/50, B05D 1/00