EP3098332

SPUTTERING TARGET

  • :
    EP einkaleyfi: Þýðing ekki lögð inn
  • :
    20.1.2015
  • :
    16.10.2019
  • :
    15741025.9
  • :
    19.1.2035
  • :
    SPUTTERING TARGET

20.1.2015
16.10.2019
  • :
    Sumitomo Chemical Company, Limited
  • :
    27-1, Shinkawa 2-chome Chuo-ku, 104-8260, Tokyo, JP
  • :
    TAKIGAWA, Mikio
  • :
    Niihama-shiEhime, JP
  • :
    KURODA, Toshiaki
  • :
    Niihama-shiEhime, JP
  • :
    2014008740
  • :
    21.1.2014
  • :
    JP
  • :
    JP2015051395
  • :
    20.1.2015
  • :
    C23C 14/34, H01L 21/285, H01J 37/34