EP3392259

SUBSTITUTED CYCLOPENTADIENYL COBALT COMPLEX AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF

  • :
    EP einkaleyfi: Þýðing ekki lögð inn
  • :
    12.12.2016
  • :
    7.6.2023
  • :
    16875596.5
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    11.12.2036
  • :
    SUBSTITUTED CYCLOPENTADIENYL COBALT COMPLEX AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF

12.12.2016
7.6.2023
  • :
    Tosoh Corporation
  • :
    4560 Kaisei-cho Shunan-shi, Yamaguchi 746-8501, JP
  • :
    Sagami Chemical Research Institute
  • :
    2743-1, Hayakawa, Ayase-shi Kanagawa 252-1193, JP
  • :
    KOISO, Naoyuki
  • :
    Ayase-shi Kanagawa 252-1123, JP
  • :
    YAMAMOTO, Yuki
  • :
    Ayase-shi Kanagawa 252-1123, JP
  • :
    OIKE, Hiroyuki
  • :
    Ayase-shi Kanagawa 252-1123, JP
  • :
    HAYAKAWA, Teppei
  • :
    Ayase-shi Kanagawa 252-1123, JP
  • :
    FURUKAWA, Taishi
  • :
    Ayase-shi Kanagawa 252-1123, JP
  • :
    TADA, Ken-ichi
  • :
    Ayase-shi Kanagawa 252-1193, JP
  • :
    2015245678
  • :
    16.12.2015
  • :
    JP
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    2016129885
  • :
    30.6.2016
  • :
    JP
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    2016204107
  • :
    18.10.2016
  • :
    JP
  • :
    JP2016086932
  • :
    12.12.2016
  • :
    C07F 19/00, C07F 15/06, C07F 17/00, C23C 16/18, H01L 21/28, H01L 21/285