EP3408829

APPARATUS OF PLURAL CHARGED-PARTICLE BEAMS

  • :
    EP einkaleyfi: Þýðing ekki lögð inn
  • :
    27.1.2017
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    25.10.2023
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    17744929.5
  • :
    26.1.2037
  • :
    APPARATUS OF PLURAL CHARGED-PARTICLE BEAMS

27.1.2017
25.10.2023
  • :
    ASML Netherlands B.V.
  • :
    De Run 6501, 5504 DR Veldhoven, NL
  • :
    REN, Weiming
  • :
    San Jose, CA 95133, US
  • :
    LIU, Xuedong
  • :
    San Jose, CA 95129, US
  • :
    HU, Xuerang
  • :
    San Jose, CA 95132, US
  • :
    CHEN, Zhongwei
  • :
    San Jose, CA 95129, US
  • :
    201662287626 P
  • :
    27.1.2016
  • :
    US
  • :
    US2017015223
  • :
    27.1.2017
  • :
    G01N 23/2251, H01J 37/28, H01J 37/05, H01J 37/244