EP3440511

PROCESS COMPATIBILITY IMPROVEMENT BY FILL FACTOR MODULATION

  • :
    EP einkaleyfi: Þýðing ekki lögð inn
  • :
    4.11.2016
  • :
    6.3.2024
  • :
    16898139.7
  • :
    3.11.2036
  • :
    PROCESS COMPATIBILITY IMPROVEMENT BY FILL FACTOR MODULATION

4.11.2016
6.3.2024
  • :
    KLA-Tencor Corporation
  • :
    One Technology Drive, Milpitas, California 95035, US
  • :
    LEVINSKI, Vladimir
  • :
    23100 Migdal HaEmek, IL
  • :
    HAJAJ, Eitan
  • :
    61000 Tel Aviv, IL
  • :
    ITZKOVICH, Tal
  • :
    99735 Kfar Uriya, IL
  • :
    AHARON, Sharon
  • :
    1796000 Hanaton, IL
  • :
    ADEL, Michael E.
  • :
    30900 Ya'akov Zichron, IL
  • :
    PASKOVER, Yuri
  • :
    Milipitas, CA 95035, US
  • :
    NEGRI, Daria
  • :
    Milipitas, CA 95035, DE
  • :
    LUBASHEVSKY, Yuval
  • :
    Milipitas, CA 95035, DE
  • :
    MANASSEN, Amnon
  • :
    Milipitas, CA 95035, DE
  • :
    LEE, Myungjun
  • :
    Milipitas, CA 95035, DE
  • :
    SMITH, Mark D
  • :
    Milipitas, CA 95035, DE
  • :
    201662318086 P
  • :
    4.4.2016
  • :
    US
  • :
    US2016060626
  • :
    4.11.2016
  • :
    G03F 7/20, G03F 7/00, H01L 21/027, H01L 21/66