EP3652778

GAS DELIVERY SYSTEM FOR HIGH PRESSURE PROCESSING CHAMBER

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    EP einkaleyfi: Þýðing ekki lögð inn
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    14.6.2018
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    9.8.2023
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    18831823.2
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    13.6.2038
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    GAS DELIVERY SYSTEM FOR HIGH PRESSURE PROCESSING CHAMBER

14.6.2018
9.8.2023
  • :
    Micromaterials LLC
  • :
    2711 Centerville Road Suite 400, Wilmington, Delaware 19808, US
  • :
    KHAN, Adib
  • :
    Santa Clara California 95054, US
  • :
    LIANG, Qiwei
  • :
    Fremont California 94536, US
  • :
    MALIK, Sultan
  • :
    Sacramento California 95834, US
  • :
    WONG, Keith Tatseun
  • :
    Los Gatos California 95032, US
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    NEMANI, Srinivas D.
  • :
    Sunnyvale California 94087, US
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    201762532715 P
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    14.7.2017
  • :
    US
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    201715835378
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    7.12.2017
  • :
    US
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    US2018037539
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    14.6.2018
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    H01L 21/67