EP3890002

SUBSTRATE ANALYZING METHOD AND SUBSTRATE ANALYZING DEVICE

  • :
    EP einkaleyfi: Þýðing ekki lögð inn
  • :
    6.11.2019
  • :
    24.1.2024
  • :
    19902588.3
  • :
    5.11.2039
  • :
    SUBSTRATE ANALYZING METHOD AND SUBSTRATE ANALYZING DEVICE

6.11.2019
24.1.2024
  • :
    Ias Inc.
  • :
    2-1, Hinohommachi 2-chome, Hino-shi, Tokyo 191-0011, JP
  • :
    KAWABATA, Katsuhiko
  • :
    Hino-shi, Tokyo 191-0011, JP
  • :
    LEE, Sungjae
  • :
    Hino-shi, Tokyo 191-0011, JP
  • :
    HAYASHI, Takuma
  • :
    Hino-shi, Tokyo 191-0011, JP
  • :
    2018242929
  • :
    26.12.2018
  • :
    JP
  • :
    JP2019043353
  • :
    6.11.2019
  • :
    H01L 21/66, G01N 1/28, G01N 1/32, G01N 21/94, G01N 21/95, G01N 35/10